按照工作原理的區(qū)別對廢氣治理設備進行分類，可大致分為四種：種是廢氣處理吸收設備。它主要是利用一些不容易進行揮發(fā)的溶液對廢氣進行吸收并且進行分離的工作方法，對于這種設備可以進行回收再利用，所以它具有環(huán)保的功能。第二種是廢氣處理吸附設備。它主要是利用多孔物質對廢氣進行吸附并且使其進行脫落的過程，它的運行過程可以進行反復的操作，所以它的凈化廢氣的效果比較明顯。第三種是廢氣處理氧化催化設備。這種方法主要采用的是對這些廢氣進行氧化還原反應，生成水和二氧化碳，臭氧氧化處理工藝屬于此類，其原理是利用臭氧發(fā)生器產(chǎn)生足量的臭氧（氧化性*）注入反應室與廢氣分子發(fā)生反應，產(chǎn)生無害無臭的物質排出。第四種是廢氣處理低溫等離子設備。它主要運用的原理是在低溫的環(huán)境下對廢氣進行分離的過程。  

    由于廢氣種類不一，一些廢氣還需各種廢氣處理設備結合的方式來處理，達到滿意的排放效果。