針對這些廢氣，通常采用的是工業廢氣處理設備方法中的低溫等離子凈化，該處理方法采用的核心技術：用低溫等離子體釋放高壓產生高能量電子，直接分解廢氣因子中的有害氣體，使其降解為二氧化碳和水等，再利用光媒觸的作用，降解尚未完成的各類有害氣體，從而達到治理效果。  

    工業廢氣處理設備處理產生的廢氣主要通過以下步驟：  

    步：經過收集管路收集后的惡臭氣體被抽風系統送進濕式噴淋洗滌塔，臭氣與填充式滌氣凈化塔內的除臭液充分接觸，氣液兩相間的傳質是在填料表面的液體與氣體間的相界面上進行，空氣中或水中的惡臭粒子被水分子被膜所包圍著，此時的脫臭必須先破壞水分子被膜，再將其中的惡臭粒子加以捕捉。  

    第二步：經前面處理較為干凈的廢氣，接入低溫等離子廢氣處理設備，通過等離子放電，打斷有機廢氣分子鍵，與此同時有和高能量活性基團重新結合生成水和二氧化碳，有機廢氣被去除，然后導入二級噴淋凈化塔，進一步吸收一些小分子碎片，便于尾氣檢測，后由煙囪高空達標排放（也可低空排放）。此過程既不同于化學反應過程而生成第三種物質，也不同于掩蓋作用，不會造成二次污染，可*去除制藥廠生產車間里的臭味。  

    廢氣源（集氣罩收集好）→吸收塔(吸收掉粉塵以及顆粒物易溶于水的無機氣體，為等離子提供優良的運行環境)→低溫等離子設備(破壞廢氣分子結構，轉化為無污染物質，立式設計，更適合施工場地偏小的工況，為工廠節約用地)→高壓風機(高壓的吸力作用下將風抽出車間)→洗滌塔(洗滌塔水洗小分子碎片，利于檢測達標)→煙囪高空排放(也可低空排放)。